當(dāng)今世界是一個信息世界 , 信息技術(shù)的三大基礎(chǔ)是信息采集、 傳輸和技術(shù)處理。 而這些部件的核心部分是傳感元件。它是換能器的一種 , 是用于檢測過程控制系統(tǒng)的變量 (信息 ) , 并將其轉(zhuǎn)換為便于自動處理的信息形式的器件 , 具有檢測、 轉(zhuǎn)換、 傳輸信息的功能。 傳感元件的種類很多 , 而擴(kuò)散硅應(yīng)變元件是一種用于擴(kuò)散硅壓力傳感器核心部分的傳感元件。 該元件采用集成電路的擴(kuò)散工藝 , 把硼雜質(zhì)摻入硅片而形成壓敏電橋制成的。 利用硅材料制作的半導(dǎo)體傳感器件除具有固體傳感器的一般優(yōu)點(diǎn)外 , 還可以把一些集成電路與傳感器制作在一起 , 構(gòu)成集成化傳感器 , 集成部分若作成微處理機(jī) , 則形成智能化傳感器。

擴(kuò)散硅傳感元件原理及特點(diǎn)

壓阻效應(yīng)本質(zhì)就是應(yīng)力的作用。 即在硅材料沿某一晶向施加一定的壓力時 , 使它們之間的能帶形狀發(fā)生變化 , 引起單晶體電導(dǎo)率的改變。 其變化值與所加的應(yīng)力大小和方向有著一定的關(guān)系。 擴(kuò)散硅應(yīng)變元件就是利用壓阻效應(yīng)制成的。

擴(kuò)散硅壓阻傳感元件的特點(diǎn)

擴(kuò)散硅壓阻傳感元件與其他傳感元件相比具有結(jié)構(gòu)簡單 , 可微型化 , 輸出信號大 , 精度高 , 分辨率高 , 頻響高 , 低功耗 , 體積小 , 工作可靠等突出特點(diǎn)。

擴(kuò)散硅壓阻傳感器的發(fā)展與現(xiàn)狀

固態(tài)壓阻傳感器自 1967年美國庫利特半導(dǎo)體公司首先為波音公司研制 , 成功用于風(fēng)洞測試 , 1970年法國斯魯母貝格公司生產(chǎn)并用于協(xié)和式大型客機(jī)和阿波羅飛船中 , 國外將其首先用于航空和宇航等軍事工業(yè)中 , 由于其自身的優(yōu)點(diǎn)十分引人注目 , 因此 , 近年來 , 美、 日、 德、 法、 英等許多儀器儀表制造廠紛紛研制生產(chǎn)。我國從七十年代初開始研究并取得了較好的成果 , 壓阻傳感器本身已經(jīng)歷了從結(jié)構(gòu)型到物性型至今天的智能型三個發(fā)展階段。

隨著科學(xué)技術(shù) , 特別是微電子和計算機(jī)技術(shù)的發(fā)展 , 壓阻傳感器的靈敏度、 精度和可靠性及信息傳輸功能大大提高 , 從而擴(kuò)大了人們對各種現(xiàn)象和過程的觀測范圍和控制范圍。

由于擴(kuò)散硅壓阻傳感器具有廣泛的應(yīng)用前景 , 因而壓阻傳感器的競爭也十分激烈。 元器件的品種增多 , 溫壓范圍已經(jīng)拓展: 已有微壓、 表壓、 高壓、 絕壓、 差壓等力敏元件及其配套儀表問世。 潛在功能比較大 , 既可以代替人類五官感覺的功能 , 也能檢測人類不能感覺的信息。

南京沃天科技擴(kuò)散硅壓力傳感器

PC12K卡箍平膜壓力傳感器

PC12K卡箍型采用了一次硅油充灌技術(shù)，膜片所感受的壓力通過硅油傳導(dǎo)至壓力芯片上，補(bǔ)償電路將壓力信號修正為線性電信號?？ü慷嗣媸芰δて饴吨苯痈惺軌毫?，可防止結(jié)垢，不衛(wèi)生及粘稠壓力堵塞等問題，廣泛應(yīng)用與食品，醫(yī)藥，釀酒等衛(wèi)生型行業(yè)以及測量介質(zhì)可能結(jié)垢的場合。

公司可以為用戶量身定做，承接特殊結(jié)構(gòu)和尺寸的產(chǎn)品，擁有一套成熟的批量化生產(chǎn)線，可及時保質(zhì)保量的完成生產(chǎn)任務(wù)。

詳細(xì)信息請查看>>>>>>

PC12螺紋平膜壓力傳感器

PC12型OEM產(chǎn)品采用了一次硅油充灌技術(shù)，膜片直接接觸測量介質(zhì)，所感受的壓力通過硅油傳導(dǎo)至壓力芯片上產(chǎn)生電信號，補(bǔ)償電路將壓力信號修正為線性壓力信號。

螺紋端面受力膜片外露直接感受壓力，可防止結(jié)垢、不衛(wèi)生及粘稠壓力堵塞等問題，特別適用于醫(yī)療、食品行業(yè)有衛(wèi)生要求的粘稠流體壓力和液位測量，廣泛應(yīng)用于食品，醫(yī)藥，釀酒等衛(wèi)生型行業(yè)。

公司可以為用戶量身定做，承接特殊結(jié)構(gòu)和尺寸的產(chǎn)品，擁有一套成熟的批量化生產(chǎn)線，可及時保質(zhì)保量的完成生產(chǎn)任務(wù)。

詳細(xì)信息請查看>>>>>>

     PC20溫壓一體化芯體

PC20溫壓一體化芯體是在PC10的基礎(chǔ)上，內(nèi)置鉑電阻，實(shí)現(xiàn)了壓力、溫度的同步測量。溫度測量能夠滿足對產(chǎn)品高精度溫度補(bǔ)償?shù)男枰?/span>

詳細(xì)信息請查看>>>>>>

PC24簡易硅壓阻式壓力傳感器

PC24型硅壓阻式壓力芯體是一款簡易的、價格低廉的硅壓阻式壓力傳感器。通過簡易的封裝形式，將硅敏感芯片直接裝配在PCB板上，采用塑料封裝；引腳之間為100mil標(biāo)準(zhǔn)間距，可以直接焊在PCB板上。

PC24芯體具有多種外形尺寸，多性能等級，不補(bǔ)償芯體，可以采用恒壓或橫流源激勵。適用于測量清潔的空氣和無腐蝕性的氣體。

典型應(yīng)用包括：醫(yī)療設(shè)備、呼吸器、氣壓計、汽車、過程控制、家電和泄漏檢測等。

對于大批量OEM應(yīng)用，可根據(jù)需要專門設(shè)計，以便與您的儀表精密配合。

詳細(xì)信息請查看>>>>>>

 PC30硅壓阻式壓力芯體

PC30型硅壓阻式壓力芯體是制造壓力傳感器及壓力變送器的核心部件，作為一種高性能的壓力敏感元件，可以很方便地進(jìn)行放大處理，裝配成標(biāo)準(zhǔn)信號輸出的變送器。

PC30芯體是將擴(kuò)散硅壓力敏感芯片封裝到316L不銹鋼外殼中，外加壓力通過不銹鋼膜片、內(nèi)部密封的硅油傳遞到敏感芯片上，敏感芯片不直接接觸被測介質(zhì)，形成壓力測量的全固態(tài)結(jié)構(gòu)，因此該產(chǎn)品可以應(yīng)用于各種場合，包括惡劣的腐蝕性介質(zhì)環(huán)境。

PC30芯體采用O型圈進(jìn)行壓力密封,便于安裝。

公司還可以根據(jù)用戶的需要，承接特殊定制，如全焊接結(jié)構(gòu)、寬溫度補(bǔ)償、高可靠、抗強(qiáng)沖擊及抗振動的壓力傳感器，尤其是為國防武器裝備配套。

詳細(xì)信息請查看>>>>>>

參考文獻(xiàn)

[1] 柳繼昌.儀器儀表與分析監(jiān)測,1986, 1: 7- 10

[2] Petersank E. Silicon as A Mechanical Material. Proc IEEE, 1982: 70

[3] 唐敏,黃剛.傳感器世界, 1996, 7: 12- 16

[4] 李杰.傳感器世界, 1996, 7: 13

[5] 梁秀紅,鞠玉林,任丙彥.擴(kuò)散硅壓阻傳感技術(shù)的研究現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢,2000,6,河北工業(yè)大學(xué),天津,300130