于壓阻效應(yīng)和惠斯通電橋原理,設(shè)計了一種壓阻式微壓傳感器;接下來我們介紹一下微壓芯體(傳感器)。
微壓芯體的工作原理
半導(dǎo)體硅材料在受到外力作用產(chǎn)生應(yīng)變時,電阻率發(fā)生變化 ,由硅材料制成的電阻器也發(fā)生阻值變化 ,這種現(xiàn)象被稱為壓阻效應(yīng)。
微壓芯體的敏感膜結(jié)構(gòu)
硅壓阻式壓力傳感器通常采用平膜片結(jié)構(gòu),在低壓應(yīng)用時,為了提高靈敏度,需要減薄硅敏感膜片,造成了工藝上的困難,同時大撓度效應(yīng)還會使非線性變壞。為了實(shí)現(xiàn)微小壓力的精確測量,國內(nèi)外先后提出了特殊的結(jié)構(gòu)。
南京沃天的微壓芯體
X19 硅壓阻式微壓芯體 (Φ19×14mm)
壓力類型:表壓
測量介質(zhì):潔凈氣體
量程范圍:0…250Pa…10kPa
輸入阻抗:2kΩ~5kΩ
零點(diǎn)輸出:±2mV
滿量程輸出:≥ 30mV
激勵:1.5mA
精度:0.25%F.S.( 典型 )
工作溫度:-20℃ ~85℃
補(bǔ)償溫度:0℃ ~50℃
材質(zhì):不銹鋼 316L
微壓芯體的產(chǎn)品描述
X19微壓芯體是制造壓力傳感器及壓力變送器的核心部件,作為一種小量程和高性能的壓力敏感元件,可以很方便地進(jìn)行放大處理,裝配成標(biāo)準(zhǔn)信號輸出的變送器。
X19芯體是將擴(kuò)散硅壓力敏感芯片封裝到316L不銹鋼外殼中,外加壓力直接作用到敏感芯片上,敏感芯片背部受壓,形成壓力測量的全固態(tài)結(jié)構(gòu),因此該產(chǎn)品僅可以應(yīng)用測量清潔無腐蝕性的氣體,或者液體。
X19芯體采用O型圈進(jìn)行壓力密封,便于安裝。
公司還可以根據(jù)用戶的需要,承接特殊定制,如全焊接結(jié)構(gòu)、寬溫度補(bǔ)償、高可靠壓力傳感器。