南京沃天PC90D單晶硅差壓傳感器是一種具有可靠過載壓力保護(hù)功能的差壓傳感器。

PC90D 單晶硅差壓傳感器差壓敏感核心采用了高性能的硅壓阻式差壓芯片，利用全焊接密封結(jié)構(gòu)進(jìn)行組裝，并在高真空下充灌硅油，不同材質(zhì)的測量膜片在隔離被測介質(zhì)與差壓芯片的同時(shí)，還能使傳感器對各種強(qiáng)腐蝕性介質(zhì)的壓差信號(hào)進(jìn)行長期可靠測量。 PC90D單晶硅差壓傳感器通過外部恒流或恒壓供電激勵(lì)能將被測的壓差信號(hào)轉(zhuǎn)換成與之線性正比的毫伏電壓信號(hào)。

一、 原理

               圖1 硅傳感器的結(jié)構(gòu)圖                                                                      圖2 加壓以后效果

南京沃天 PC90D 單晶硅差壓傳感器采用德國進(jìn)口高穩(wěn)芯片

● 精度高

● 穩(wěn)定性好

● 耐靜壓

二、 結(jié)構(gòu)介紹

1 爆炸圖

2 基芯部件

三、優(yōu)點(diǎn)

1 過壓保護(hù)設(shè)計(jì)

如圖 所示，為克服單晶硅硅片抗過載能力不足的缺陷。該單向壓力過載保護(hù)差壓傳感器不僅能測出現(xiàn)場工況在額定壓力范圍內(nèi)的壓差值，而且在發(fā)生單向壓力過載的情況下還能有效地進(jìn)行自我保護(hù)，避免了PC90D 單晶硅差壓傳感器 單向壓力過載而引起的損壞。

2量程比可調(diào)性能

表一  PCM3051S-DP差壓變送器的量程比性能試驗(yàn)

結(jié)論：抽3只，量程比設(shè)置為10:1 和100:1 ，測試結(jié)果都能達(dá)到較高精度

3 壓力滯后性能

2 壓力滯后特性也稱回程誤差特性，俗稱回差，對于壓力、差壓變送器來說是一個(gè)較為重要的考核指標(biāo)?；夭畹拇笮≈苯佑绊懙阶兯推鞯臏y量準(zhǔn)確性 和長期漂移性能。

2 如圖4所示，這是一張典型的單晶硅誤差曲線和金屬電容誤差曲線的比較示意圖。從圖中可以看出，單晶硅原理傳感器的線性誤差曲線的回差極小，上行程和下行程幾乎重合，其回差基本可以忽略不計(jì)；而金屬電容式原理的線性誤差曲線的回差較大，上行程和下行程呈開口狀，直接影響到變送器的輸出精度 。

4 靜壓特性

南京沃天 PC90D 單晶硅差壓傳感器采用特殊 的單晶硅芯片封裝工藝，封裝以后其內(nèi)腔和外腔達(dá)到壓力平衡。如圖所示為PC90D單晶硅硅片的封裝示意圖，當(dāng)有工作靜壓加載到測量硅片的正負(fù)腔時(shí)， 工作靜壓通過硅片外部的正腔硅油和硅片內(nèi)部的負(fù)腔硅油平衡加載到測量硅片上，并實(shí)現(xiàn)了相互抵消，從而使得測量硅片對工作靜壓的彎曲變形極小。這樣處理大幅提升了差壓變送器的靜壓影響性能。

三、差壓變送器核心部件

南京沃天科技股份有限公司成立于2005 年，專注生產(chǎn)壓力傳感器，是國內(nèi)重量級的壓力傳感器廠家，擁有擴(kuò)散硅壓力傳感器的核心技術(shù)，現(xiàn)有員工 260名。南京沃天科技股份有限公司 年產(chǎn)擴(kuò)散硅壓力傳感器150多萬只，產(chǎn)品出口70多個(gè)國家和地區(qū)。